في كل منشأة رئيسية لتصنيع أشباه الموصلات ، يتم شراء المواد الخام والمواد الكيميائية من مصادر خارجية. يمكن أن يؤدي ذلك إلى مشكلة كبيرة في الجودة إذا كانت المواد الواردة لا ترقى إلى معايير الجودة الخاصة بمنشأتك. ببساطة ، ستؤدي المواد الخام ذات الجودة الرديئة إلى الدوائر المتكاملة دون المستوى.
تمتلك METTLER TOLEDO مجموعة من معدات الفحص والتحقق من الصحة والتأهيل التي ستضمن أن تكون المواد الخام والمواد الكيميائية الواردة عالية الجودة بما يكفي لتلبية المواصفات ومتطلبات جودة المنتج النهائي.
يبدأ إنشاء أشباه الموصلات بالسيليكون الخام الذي يجب صقله لتحقيق الشكل أحادي البلورة فائق النقاء الضروري لتصنيع أشباه الموصلات. تبدأ مصانع الإنتاج بتنقية السيليكون الخام لإزالة أي شوائب قبل صهرها. هذا ضروري لضمان أداء وموثوقية أشباه الموصلات النهائية. تسمح عملية نمو البلورات لذرات السيليكون بإعادة ترتيب نفسها في بنية بلورية واحدة أثناء تصلبها ، وتشكل سبيكة سيليكون أسطوانية كبيرة نهائية. أثناء نمو البلورات ، تتم إضافة شوائب محددة ، أو مخدرات ، لتعديل الخصائص الكهربائية للبلورة وإنشاء أشباه الموصلات من النوع p أو النوع n. أخيرا ، تخضع سبيكة السيليكون المزروعة للتلدين ، وهي معالجة حرارية تزيل الضغوط والعيوب في التركيب البلوري ، مما يضمن التوحيد والجودة.
تحدث عملية سحب السبائك في فرن محدود ومعزول وتتطلب أياما من الوقت لإكمالها. لذلك ، فإن ضمان عملية تطوير السبائك أمر بالغ الأهمية لتحسين إنتاجية المنتج. يمكن وضع موازين الأرضية المنخفضة للغاية من METTLER TOLEDO تحت فرن النمو، مما يعطي التغيير في الوقت الفعلي في بيانات الوزن، مما يضمن استمرارية العملية.
بمجرد زراعة سبيكة السيليكون ، فإن الخطوة الحاسمة التالية هي تقطيعها إلى رقائق رقيقة. تعمل هذه الرقائق كركيزة للدوائر المتكاملة. يتم قطع السبائك أولا لإزالة المخالفات وإنشاء سطح مستو قبل تقطيعها إلى رقائق رقيقة باستخدام مناشير ماسية أو مناشير سلكية. عادة ، يتم تقطيع الرقائق إلى شرائح بسمك 200 إلى 300 ميكرومتر. يتم تنظيف الرقائق المقطوعة جيدا لإزالة أي حطام أو ملوثات تم ترسيبها من عملية التقطيع.
غالبا ما تستخدم مرافق تصنيع الرقاقات ومرافق تصنيع الرقائق العديد من المركبات والمواد الكيميائية والغازات والمواد الخام المختلفة كجزء من العمليات. عندما تدخل المواد الكيميائية إلى المرافق ، يتم وزن مركبة التوصيل بأكملها عادة. سيعطيك هذا بيانات حول كمية المواد الواردة ، لكنه لن يخبرك بنقاء أو تكوين المواد.
ومع ذلك ، سيسمح لك هذا الفحص السريع بتجنب المشكلات المرتبطة بنقص أو الإفراط في تسليم المواد الخام. سيساعدك الوزن السريع للمركبة على التنبؤ بمشكلات الإنتاج التي قد تكون ناجمة عن وجود القليل جدا من المواد الخام في متناول اليد.
بمجرد تفريغ الحاويات وإحضارها إلى منشأتك ، يمكن التحقق من جودتها قبل استخدامها في عملية تصنيع أشباه الموصلات.
ستسمح لك خلايا التحميلوموازين الأرضية من METTLER TOLEDO بالحصول على قياسات دقيقة للمواد قبل استخدامها في منشأتك. كما أنه يوفر فرصة لإجراء هندسة عكسية لمجموعة المواد الكيميائية الموجودة في المركب. ستسمح لك موازين المختبر والأدوات التحليلية من METTLER TOLEDO بفحص المواد الخام والتحقق من الجودة قبل الاستخدام.
تعتمد كفاءة التلميع على عملية الأكسدة التي تحدث على رقاقة السيليكون. يمكنك استخدام تقنيات مختلفة ، مثل المعايرة بالتحليل الحجمي ، لتحديد تركيز H2O2 في المحلول الذي ينتج الملاط. بدلا من ذلك ، يوفر قياس الكثافة أو معامل الانكسار تحليلا سريعا وبسيطا وآمنا.
يتم استخدام المواد الكيميائية الواردة مثل السيلان والأكسجين وأكسيد النيتروز أثناء عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD). يستخدم الأرجون لاحقا لإزالة الملوثات. تتطلب كل هذه الغازات جودة لا تصدق ليكون لها التأثير الصحيح على رقائقك.
عادة ما يستخدم الطباعة الحجرية الضوئية مواد كيميائية مقاومة للضوء ، وحلول مطورة (مثل TMAH) ، والطلاءات المضادة للانعكاس ، والمذيبات التي يتم الحصول عليها من موردين خارجيين. عادة ما تكون جودة المذيبات الخاصة بك ، مثل IPA أو الأسيتون ، تافهة ولن يكون لها تأثير كبير على عمليتك. ومع ذلك ، فإن المواد الكيميائية المقاومة للضوء ستحدد جودة عملية الطباعة الحجرية الضوئية.
يعد تصنيع مقاومة الضوء مهمة معقدة تجمع بين التركيبة الكيميائية عالية الدقة والرقابة الصارمة على الجودة والحرفية الدقيقة. التنفيذ الدقيق لكل خطوة أمر بالغ الأهمية.
يعد ضمان الوزن الدقيق للمقاومات الضوئية في كل حاوية أثناء عملية التعبئة أمرا ضروريا ولا يؤثر فقط على اتساق جودة المنتج ولكن أيضا على الكفاءة الاقتصادية وسمعة الشركة في السوق.
في هذه العملية الحرجة ، تصبح تقنية الوزن الصناعي حجر الزاوية في جودة مقاومة الضوء ، خاصة في القياس الدقيق للمواد الخام ، والتحكم الدقيق في المكونات ، والتعبئة الدقيقة ، وفحص الجودة النهائي للمنتجات.
ستؤدي المواد الكيميائية الخام الرديئة إلى طلاء غير متساو وطباعة حجرية غير متسارعة. غالبا ما يرتبط الاستقرار الكيميائي وحساسية المواد المقاومة للضوء بدرجة الحموضة في المحلول، والتي يمكن قياسها بكفاءة باستخدام مقاييس الأس الهيدروجيني وأجهزة الاستشعار من METTLER TOLEDO.
تقوم عمليات النقش بإزالة مواد أو مناطق معينة من الرقاقة. يتم ذلك باستخدام الكلور أو بروميد الهيدروجين أو الأكسجين أو الغازات القائمة على الفلور (النقش الجاف) أو الصيغ الخاصة بالشركة من المواد الكيميائية (النقش الرطب). يمكن أن يكون للمواد الكيميائية ، التي يتم الحصول عليها من الخارج ، اختلافات هائلة في الجودة والتركيب الكيميائي ، مما سيؤثر بعد ذلك على جودة عملية النقش.
يؤدي ضمان التحضير الدقيق للأحماض في مرافق الموردين إلى مواد عالية الجودة باستمرار ، وهي ضرورية لتحقيق عمليات نقش موثوقة ودقيقة. من خلال استخدام حلول الوزن المتقدمة ، يعمل المصنعون على تحسين موثوقية الإنتاج ، وتبسيط العمليات ، ودعم الالتزام بالممارسات المستدامة ، مما يؤدي في النهاية إلى إدارة أفضل للموارد وتوفير التكاليف بمرور الوقت.
يمكن قياس درجة الحموضة للمحاليل الكيميائية المستخدمة أثناء عملية النقش بكفاءة باستخدام مستشعرات الأس الهيدروجيني المضمنة وغير المتصلة بشركة METTLER TOLEDO، بينما يمكن تحديد تركيز الحفر والجزيئات المختلفة المتكونة على طول العملية باستخدام محاليل المعايرة بالتحليل الحجمي الخاصة بنا.
في عمليات التجريد ، من المحتمل أن تستخدم بلازما الأكسجين أو حمض الكبريتيك أو بيروكسيد الهيدروجين أو NMP أو ثنائي ميثيل سلفوكسيد. تستخدم كل هذه المذيبات لإزالة أجزاء من مقاومة الضوء بشكل استراتيجي ومحدد. وبالتالي ، ستؤثر جودة المواد الكيميائية على جودة عملية التجريد ويمكن مراقبتها باستخدام قياسات الكثافةوقياس الانكسار .
من الضروري مراقبة جودة محلول الغسيل عن كثب ، حيث يمكن أن تؤثر أي شوائب على سطح رقاقة السيليكون سلبا على خطوات المعالجة اللاحقة وتضر بجودة المنتج النهائي. توفر المراقبة الدقيقة في الموقع رؤى في الوقت الفعلي لحالة الحمام ، مما يتيح التجديد في الوقت المناسب ، والذي يمكن أن يكون فعالا للغاية من حيث التكلفة لعملية التصنيع الشاملة. توفر مجسات ReactIR و ReactRaman™ طريقة سهلة وفعالة لتتبع تكوين حمامات التنظيف أو الغسيل ، مما يضمن الجودة المثلى طوال فترة الإنتاج.
التحقق من تركيز بيروكسيد الهيدروجين (H₂O₂) أو حمض الكبريتيك (H₂SO₄) في محاليل التنظيف. يضمن قياس الطيف الضوئي للأشعة فوق البنفسجية / المرئية أن هذه المحاليل ضمن نطاق التركيز الصحيح لتنظيف الرقاقة بشكل فعال.
بمساعدتنا ، يمكنك الحصول على نظرة أفضل على كمية ونوعية وتكوين المواد الخام الخاصة بك.
خلايا التحميلوموازين الأرضية: توفير قياسات دقيقة للمواد السائبة لتجنب مشكلات التسليم الناقص أو الزائد.
موازين دقيقة: تأكد من الوزن الدقيق للمواد الخام الواردة للتحكم الدقيق وضمان الجودة.
موازين MS/ML التحليلية: ضمان القياس الدقيق للمواد الكيميائية ، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على نقاء واتساق سبيكة السيليكون.
الموازين: تأكد من الوزن الدقيق للمواد الخام الواردة للتحكم الدقيق وضمان الجودة. ضمان القياس الدقيق للمواد الكيميائية ، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على نقاء واتساق سبيكة السيليكون. تأكد من الوزن الدقيق للرقاقة. تحقق من كثافة ونقاء السيليكون والمواد الخام الصلبة الأخرى للحفاظ على معايير الجودة العالية.
مقاييس الكثافة: تحقق من كثافة ونقاء المحاليل الكيميائية للحفاظ على معايير الجودة العالية.
نقطة الانصهار (الغليان): تحقق من نقاء المذيبات المستخدمة في العملية.
أدوات التحليل الحراري: تحليل الخصائص الحرارية للمواد للتأكد من أنها تلبي المواصفات.
أجهزة تحليل الرطوبة: تحديد محتوى الرطوبة في المواد الخام لمنع التلوث.
أجهزة المعايرة: قياس تركيز المواد الكيميائية المستخدمة في العمليات المختلفة بدقة.
مستشعرات الأس الهيدروجيني وأجهزة القياس : مراقبة مستويات الأس الهيدروجيني والتحكم فيها في المحاليل الكيميائية المستخدمة طوال العملية. يعد التحكم الدقيق في درجة الحموضة أمرا بالغ الأهمية للنقش الفعال أو التنظيف أو المنشطات للرقائق.
مقياس الطيف الضوئي للأشعة فوق البنفسجية / Vis: تأكد من أن المواد الخام والمواد الكيميائية تلبي معايير النقاء العالية، وهو أمر بالغ الأهمية لعمليات تصنيع أشباه الموصلات. تحديد الشوائب المحددة بناء على خصائص امتصاصها.
من خلال الاستفادة من المعدات التحليلية المتقدمة من METTLER TOLEDO، يمكن أن تضمن عملية أشباه الموصلات أعلى جودة للمواد الخام الواردة، مما يؤدي إلى الحصول على منتجات نهائية فائقة.
اكتشف أحدث الأدوات المصممة لتعزيز البحث والتطوير لأشباه الموصلات ، مما يضمن الدقة والموثوقية والابتكار في تطوير المواد والأجهزة.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "In-Line pH Probe / ORP (Redox) Probe")
نحن نتفهم أن الدقة والموثوقية ضروريتان في عملك ، وقد تم تصميم حلولنا لدعمك في كل خطوة على الطريق. فريقنا مكرس للحفاظ على تشغيل معداتك بسلاسة حتى تتمكن من التركيز على ما هو أكثر أهمية - تحقيق نتائج رائدة. دعنا نعمل معا لتعزيز جهودك ودفع الابتكار في مجال أشباه الموصلات.
