随着水越来越成为一种珍贵的商品,在微电子领域最大限度地利用和回收水资源至关重要。微电子领域的高效水回收需要明智地使用在线水质分析。
本白皮书探讨了水回收和再利用以及水回收战略的重要性。它探讨了一些工厂如何实现高达 85% 的回收率。
总有机碳(TOC) 和电导率/电阻率测量对于微电子和半导体制造工厂的高效水中回收至关重要。制造过程中产生的废水性质各异,因此需要多种分析测量参数。高性能 TOC 分析仪是高效控制所需的一个组成部分。TOC 分析仪可以提高过程中的水回收率,同时减少水中 TOC 的排放。
几乎在微电子行业水回收的所有阶段,后处理水中的电导率或电阻率测量都至关重要。在废水处理过程中,4电极或电感式电导率传感器用于监测高电导率废水。这些传感器有助于分离过程,并确定废水是否已得到充分处理,以便排放。